Anvendelser af konfokale mikroskoper i halvlederindustrien
I processen med stor-halvlederproduktion er det nødvendigt at deponere integrerede kredsløbschips på waferen, derefter opdele dem i forskellige enheder og til sidst pakke og lodde dem. Derfor er præcis kontrol og måling af waferskærerillestørrelse et afgørende led i produktionsprocessen.
Konfokalmikroskop er en mikroskopisk detektionsenhed lanceret af Zhongtu Instrument, der er meget udbredt i halvlederfremstillings- og emballeringsprocesser. Den kan udføre kontaktfri scanning og rekonstruere tre-morfologi af overfladeegenskaber med komplekse former og stejle laserskærende riller.
Konfokalt mikroskop har fremragende optisk opløsning, og gennem et klart billeddannelsessystem kan det observere waferoverfladens karakteristika i detaljer, såsom om der er defekter som kantbrud og ridser på waferoverfladen. Det elektriske tårn kan automatisk skifte mellem forskellige objektive forstørrelser, og softwaren fanger automatisk funktionskanter til hurtig to-dimensionel størrelsesmåling, hvorved waferoverfladen detekteres og kvalitetskontrolleres mere effektivt.
I processen med laserskæring af wafere kræves præcis positionering for at sikre, at riller kan skæres langs den korrekte kontur på waferen. Kvaliteten af wafersegmentering måles normalt ved dybden og bredden af skærerillerne. VT6000-seriens konfokale mikroskop, baseret på konfokal teknologi og udstyret med høj-scanningsmoduler, har professionel analysesoftware med multiområde og automatiske målefunktioner. Den kan hurtigt rekonstruere den tredimensionelle kontur af laserrillen på den testede wafer og udføre multiprofilanalyse for at opnå information om kanaldybde og -bredde for tværsnittet.
