Elektronmikroskop har flere dele
Elektronmikroskop består af tre dele: linsebeholder, vakuumenhed og strømforsyningskabinet.
1. Linserøret omfatter hovedsageligt elektronkilder, elektronlinser, prøveholdere, fluorescerende skærme og detektorer. Disse komponenter er normalt samlet i en cylinder fra top til bund.
Elektronlinsen bruges til at fokusere elektroner og er den vigtigste komponent i elektronmikroskopets cylinder. Generelt bruges magnetiske linser, og nogle gange bruges elektrostatiske linser også.
2. Vakuumapparatet bruges til at sikre vakuumtilstanden i mikroskopet, så elektroner ikke absorberes eller afbøjes på dets vej. Den er sammensat af en mekanisk vakuumpumpe, en diffusionspumpe og en vakuumventil og er forbundet til linserøret gennem et udstødningsrør.
3. Strømskabet er sammensat af en højspændingsgenerator, en magnetiseringsstrømstabilisator og forskellige justeringskontrolenheder.
