Flere almindelige fladhedsmålingsmetoder for niveaumåler
Fladhed er en af de geometriske tolerancer, som refererer til afvigelsen af den makro-konkave-konvekse højde på objektets overflade fra det ideelle plan. I de traditionelle detektionsmetoder omfatter måling af fladhed normalt: målemetode for stikmåler/følermåler, metode til væskeniveau, målemetode for laserplaninterferometer (fladkrystalinterferometrimetode), målemetode for niveaumåler/digital niveau og lov om målermåling.
Målemetoden til følermåleren behøver kun et sæt bærbare følemålere til at udføre en grov måling af fladheden når som helst og hvor som helst. På nuværende tidspunkt bruger mange fabrikker stadig denne metode til påvisning. På grund af dens lave præcision er den tyndeste konventionelle følermåler 10um, detektionseffektiviteten er lav, resultatet er ikke omfattende nok, og kun kanten af delen kan detekteres.
Væskeniveaumetoden, baseret på stikkets arbejdsprincip, er velegnet til at måle fladheden af kontinuerlige eller diskontinuerlige store planer, men den tager lang tid at måle og er følsom over for temperatur, så den er kun egnet til fly med lav målenøjagtighed.
Laser plan interferometer målemetode, den mest typiske brug er flad krystal interferometri. Men det bruges hovedsageligt til måling af glatte små fly, såsom mikrometerets måleoverflade, målerens arbejdsflade og den optiske linse.
Niveaumålingsmetoden er meget udbredt til måling af rethed og fladhed af emnets overflade. Høj målenøjagtighed, god stabilitet, lille størrelse, let at bære. Men når man bruger denne metode til at måle, er det nødvendigt gentagne gange at flytte instrumentets position og registrere dataene for hvert målepunkt, hvilket er tidskrævende, besværligt, lang justeringstid, og databehandlingsproceduren er besværlig.
Den typiske anvendelse af målemetoden er fladt mikrometer og tre-koordinat-instrument, blandt hvilke tre-koordinat-instrument er det mest udbredte. Under målingen bevæger indikatoren sig på prøven, der skal testes, og dataene for hvert målepunkt i forhold til målereferencen måles i henhold til de valgte layoutpunkter, og derefter evalueres planhedsfejlen gennem databehandling. Men dens effektivitet er lav, normalt tager en prøve flere minutter, langt fra forventningen på 15 ppm.
