Metode til måling af temperaturkompensation for belægningstykkelsesmåler
Målemetoden for temperaturkompensation for belægningstykkelsesmåleren inkluderer temperaturkoefficientkalibreringstrinnet, startnulkalibreringstrinnet og tykkelsesmålingsarbejdstrinnet og beregner endelig værdien af den faktiske belægningstykkelse dx; ved at bruge korrelationen mellem den elektromagnetiske feltændring af induktorspolen og temperaturen, det vil sige i Værdien ved uendelig ende måles én gang under måleprocessen, og temperaturændringskoefficient i uendelig ende er proportional med temperaturændringskoefficienten når målesonden er tæt på det målte objekts substrat til måling. Brug af denne funktion til at realisere temperaturkompensation kan reducere temperaturmålingsfejlen så meget som muligt. Målefejlen for denne metode kan som udgangspunkt kontrolleres inden for 1 procent, mens vores nuværende nationale standard kræver inden for 3 procent. Til sammenligning kan målefejlen for denne metode kontrolleres inden for 1 procent. Målenøjagtigheden har nået målenøjagtigheden for internationale mærkemaskiner, og den er stadig på et meget højt niveau i Kina.
