Introduktion til scanningselektronmikroskopers ydeevnekarakteristika
Introduktion til scanningselektronmikroskopers ydeevnekarakteristika
Der er forskellige typer scanningselektronmikroskoper, og forskellige typer scanningselektronmikroskoper har forskelle i ydeevne. Alt efter typen af elektronkanon kan den opdeles i tre typer: feltemissionselektronkanon, wolframtrådpistol og lanthanhexaborid [5]. Blandt dem kan feltemissionsscanningselektronmikroskoper opdeles i koldfeltemissionsscanningselektronmikroskoper og varmefeltemissionsscanningselektronmikroskoper i henhold til lyskildens ydeevne. Koldfelt emission scanning elektronmikroskopi har høje krav til vakuumforhold, ustabil strålestrøm, kort levetid for emitteren og behovet for at rense spidsen regelmæssigt. Det er begrænset til en enkelt billedobservation og har et begrænset anvendelsesområde; mens termisk feltemission scanning elektronmikroskopi ikke kun kontinuerligt Det har en lang arbejdstid og kan bruges med en række tilbehør for at opnå omfattende analyse. Inden for geologi skal vi ikke kun udføre foreløbige morfologiske observationer af prøver, men også nødt til at kombinere analysatorer for at analysere andre egenskaber af prøverne, så termisk feltemission scanningselektronmikroskopi er mere udbredt.
Scanning elektronmikroskopet (SEM) er et storstilet præcisionsinstrument, der bruges til højopløsningsmikroregionmorfologianalyse. Det har karakteristika af stor dybdeskarphed, høj opløsning, intuitiv billeddannelse, stærk tredimensionel sans, bredt forstørrelsesområde, og prøven, der skal testes, kan roteres og vippes i tredimensionelt rum. Derudover har det fordelene ved rige typer af målbare prøver, næsten ingen beskadigelse eller forurening af den originale prøve og evnen til at opnå morfologi, struktur, sammensætning og krystallografisk information på samme tid. På nuværende tidspunkt er scanningselektronmikroskoper blevet meget brugt i mikroskopisk forskning inden for områderne biovidenskab, fysik, kemi, retfærdighed, geovidenskab, materialevidenskab og industriel produktion. Alene inden for geovidenskab omfatter det krystallografi, mineralogi og mineralaflejringer. , sedimentologi, geokemi, gemologi, mikropaleontologi, astronomisk geologi, olie- og gasgeologi, ingeniørgeologi og strukturgeologi mv.
Selvom scanningselektronmikroskopi er en stigende stjerne i mikroskopfamilien, udvikler den sig hurtigt på grund af dens mange fordele.
1. Instrumentets opløsning er høj. Det kan observere detaljer på omkring 6nm på overfladen af prøven gennem det sekundære elektronbillede. Ved at bruge LaB6 elektronkanonen kan den forbedres yderligere til 3nm.
2 Instrumentets forstørrelse har en lang række ændringer og kan justeres løbende. Derfor kan du vælge forskellige størrelser af synsfelter til observation efter dine behov. Samtidig kan du også opnå klare billeder med høj lysstyrke ved høj forstørrelse, som er svære at opnå med generelle transmissionselektronmikroskoper.
3. Dybdeskarpheden til at observere prøven er stor, synsfeltet er stort, og billedet er fuld af tredimensionalitet. Den ru overflade med store udsving og det ujævne metalbrudbillede af prøven kan observeres direkte, hvilket giver folk følelsen af at besøge den mikroskopiske verden personligt.
4. Prøveforberedelsen er enkel. Så længe blok- eller pulverprøven er let behandlet eller ikke behandlet, kan den placeres direkte i scanningselektronmikroskopet til observation, så den er tættere på stoffets naturlige tilstand.
5. Billedkvaliteten kan effektivt kontrolleres og forbedres gennem elektroniske metoder, såsom automatisk vedligeholdelse af lysstyrke og kontrast, korrektion af prøvehældningsvinkel, billedrotation eller forbedring af billedkontrasttolerance gennem Y-modulation, såvel som lysstyrken og mørket for hver del af billedet. Moderat. Ved hjælp af en dobbeltforstørrelsesanordning eller billedvælger kan billeder med forskellige forstørrelser observeres på den fluorescerende skærm på samme tid.
6 Der kan udføres omfattende analyser. Udstyret med et bølgelængdedispersivt røntgenspektrometer (WDX) eller energidispersivt røntgenspektrometer (EDX), har det funktionen af en elektronsonde og kan også detektere reflekterede elektroner, røntgenstråler, katodefluorescens, transmissionselektroner og snegl. udsendes af prøven. Elektronik etc. Den udvidede anvendelse af scanningselektronmikroskopi til forskellige mikroskopiske og mikroområdeanalysemetoder viser scanningselektronmikroskopi's alsidighed. Derudover kan du også analysere udvalgte mikroområder af prøven, mens du observerer morfologibilledet; ved at installere tilbehøret til halvlederprøveholderen kan du direkte observere PN-forbindelsen og mikroskopiske defekter i transistoren eller det integrerede kredsløb gennem billedforstærkeren med elektromotorisk kraft. Da mange scanningselektronmikroskopelektronprober har realiseret automatisk og semi-automatisk kontrol af elektroniske computere, er hastigheden af kvantitativ analyse blevet væsentligt forbedret.
