Introduktion til fokuseringssystemet i mikroskopværktøjets måleserie
Serien af målemikroskopværktøjer inkorporerer et højeffektivt fokuseringssystem til gentagne målinger, hvilket muliggør hurtige og meget nøjagtige fokuseringsoperationer. I dag vil vi give et overblik over dette system.
Målemikroskopværktøjsserien integrerer høj stivhed, høj præcision og høj effektivitet i sit fokuseringssystem og understøtter et belastningsbart fokuseringsmodul. Ved at bruge dette system kan selv komplekse måleopgaver udføres effektivt gennem kontinuerlig fokusering ogautofokus (AF)operationer, hvorved Z-aksens måleeffektivitet forbedres betydeligt og operatørens arbejdsbyrde reduceres. Værktøjsholderens geniale design er et andet bemærkelsesværdigt træk ved denne serie.
Serien af målemikroskopværktøjer tilbyder to fokuseringstilstande: manuel fokusering og AF. I grovfokustilstanden kan prøven hurtigt bevæge sig til det centrale område af synsfeltet. I AF-sporingstilstand kan fokus bevares ved at spore prøvens overflade, og da billedet hele tiden forbliver i fokus, er arbejdseffektiviteten væsentligt forbedret.
AF er særligt effektiv til objektiver med høj størrelse, opnår AF inden for et meget lille område og leverer reproducerbarhed på op til 1 μm. De
AF-systemet bruger en projiceret lys-metode og kan finde fokuspositionen selv på uregelmæssige prøveoverflader. Derudover understøtter den 100× objektiv observation med en laserpunktdiameter på mindre end 1 μm, hvilket muliggør finjustering af Z-aksen inden for et lille område og bruges til laserfokuseringspunktmarkering i halvlederindustrien.
Serien af målemikroskopværktøjer hjælper med at fokusere gennem et AF-system og justerer den angivne positionsafvigelse for at opnå højpræcisions måleresultater. Den kan frit skifte mellem de mellemliggende spejle og anvender en kontinuerligt justerbar LED-lyskilde. Berøringspanelet er brugervenligt og nemt at betjene.
